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  • 成都四洋科技有限公司官方網站

    殘余氣體分析儀

    XT系列

    Extorr是一家專業研究及生產殘余氣體分析儀(RGA)的公司,擁有XT系列殘余氣體分析儀,原理是四極質譜儀,RGA內置電阻規和離子計。是一種重要的測量設備,可用于任何真空系統。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質量數范圍。RGA配置一個標準的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關閉,并將不斷監測從大氣壓至超高真空。內置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監測總壓力,并調節和保護RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。

    特點

    內置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
    1-100、1-200和1-300 amu質量數范圍可選
    標準法拉第探測器(FC)與可選的電子倍增器(EM)
    實時Windows軟件能夠進行多臺RGA同時操作
    現場可更換兩根敷釷的銥絲
    優于1 amu分辨率
    8個數量級的動態范圍在一次掃描
    質譜,泄漏檢測和壓力隨時間的變化
    內建診斷,容易升級的軟件和固件
    完全可插入的探頭

    應用

    泄漏測試

    等離子體特性

    基準壓力監測

    表面科學

    真空工藝監控

    真空技術教育

    真空爐監控

    材料制造

    電子顯微鏡

    材料分析

    RGA技術規格

    質量數范圍
    XT100
    1-100 amu 法拉第杯 (FC)
    XT200
    1-200 amu 法拉第杯 (FC)
    XT300
    1-300 amu 法拉第杯 (FC)
    XT100M
    1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
    XT200M
    1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
    XT300M
    1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
    類型
    四極質譜儀
    探測器類型
    標準:法拉第杯 (FC)
    可選:電子倍增器 (EM)
    分辨率
    大于0.5 amu@10%峰值高度。可在整個質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。
    靈敏度(A/Torr)
    5×10-4Torr(FC)。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量,全峰寬1 amu,高度10%,電子能70 ev,離子能6 ev,電子發射電流2 mA。
    最小可檢測分壓
    5 × 10–11 Torr (FC)
     5 × 10–14 Torr (EM)
    工作范圍
    RGA:≤10–4 Torr
    皮拉尼計:10–3 Torr至大氣壓
    離子計:≤10-2Torr
    工作溫度
    電路部分:50℃
    探頭:100℃
    烘烤溫度
    300℃(僅探頭,移除電路部分)
    總壓強測量
    皮拉尼計:10-3 Torr 至大氣壓,
    離子計:2 x 10-10 Torr至10-2 Torr
    離子源
    設計
    開放離子源,電子撞擊電離
    材質
    SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金
    燈絲
    雙釷涂層銥燈絲,帶固件保護。內置1到30W的電子脫氣裝置(可現場可更換)
    電子能量
    11至150V,可編程的
    離子能量
    1至12V,可編程的
    聚焦電壓
    0至150V,可編程的
    發射電流
    0.1至4 mA,可編程的
    其他參數
    探頭長度
    172.72mm,從法蘭到頂端
    法蘭
    CF40(2.75”)
    探頭最小管內徑
    35mm
    電路部分體積
    84 x 122 x 188mm, 可拆卸
    預熱時間
    30分鐘質量穩定性±0.1 amu
    計算機接口
    RS-232C, 至高115,200波特率,或USB.
    最低PC要求
    PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統,1024 x 768VGA圖形顯示器,鍵盤,鼠標,光盤驅動器,和一個未使用的USB或RS-232C端口。
    軟件
    隨機附帶VacuumPlus窗口軟件,基于應用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統
    電源
    24 VDC @ 2.5 Amps,120/240 VAC電源適配器.
    重量
    2.27Kg(探頭及電路部分)
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