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    冷陰極皮拉尼復合真空計

    INFICON反磁控管皮拉尼復合真空計,MPG400 和 MPG401,測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力)。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中,顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。

    特點

    復合真空計 – 冷陰極和皮拉尼

    5 X 10-9 mbar 至大氣壓的極寬測量范圍

    倒磁控管沒有燈絲,不會出現絲極燒毀的現象

    卓越的點火屬性

    易清洗

    FPM 或金屬密封饋入裝置

    LED 指示器,高壓時亮起

    對數模擬輸出信號

    應用

    高真空壓力測量

    蒸發與濺射鍍膜系統

    全真空范圍內的一般真空測量和控制

    技術規格

    型號
    密封
    MPG400
    FPM密封
    MPG401
    金屬密封
    測量范圍
    5 × 10E-9至1000 mabr
    精度(N2) 10E-8至100 mbar

    ≈±30%讀數
    重復性
    ≈±5%讀數
    輸出信號(電壓)

    0至+10.5V

    電源電壓
    功率
    +15至+30Vdc
    ≤2 W
    電氣連接件

    FCC 68/RJ45網口,8腳屏蔽
    工作溫度
    +5至+55℃
    安裝方位任何
    防護等級IP40

    訂購資料

    型號
    密封
    MPG400
    FPM密封
    MPG401
    金屬密封
    KF25351-010351-020
    KF40351-011351-021
    CF40351-012351-022
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