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    MG15真空計控制器

    MG15能夠支持4個Active真空計和3個Passive真空規管,將測量范圍擴展到2x10-12mbar。MG15可以完全由軟件控制,通過一個可用的接口進行遠程控制。MG15還支持離子電流(Flux Monitor)的測量及顯示,單位是[nA],相關的所有設定值和模擬輸出也會同步為[nA]單位。

    特點

    測量范圍從大氣壓到2x 10-12毫巴

    壓力圖

    壓力趨勢圖

    測量濾波(low, med, hi)

    控制幾乎所有商用的Bayard-Alpert離子計

    有時間和功率限制的Bayard-Alpert脫氣

    支持Ir/ W /Thoria燈絲

    Bayard-Alpert超壓保護

    可選擇的測量單位:mbar, Torr, Pascal, Psia

    氣體特定修正與一個定制設置

    單元超溫保護

    10個單獨可編程的設定點,設定閾值和滯后功能

    用戶定義的通道名稱

    主動測量真空計的自我識別

    顯示離子束流

    應用

    任何高真空和超高真空系統

    極限壓力測量(從大氣到超高壓范圍)

    可烘烤和不可烘烤系統

    MBE離子束流規控制

    技術規格

    測量通道

    7通道(Active真空計:4個; Passive真空規:3個-訂購時定義的數量)

    顯示范圍

    2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar

    測量范圍
    Active真空計
    Passive真空規
    *與連接量規有關

    5 x 10-10 mbar

    2 x 10-12 mbar

    其他測量*
    (Flux Monitor)

    離子束流(束流規應用)

    發射電流

    0.05mA至10mA

    設定點(每個通道的單獨編程)

    10個(4個NC/NO;6個NO)

    支持的Active真空計

    Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空計等

    支持的Passive真空計

    IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等

    繼電器輸出帶有配置激活信號

    4個(發射電流,除氣)

    數字輸入

    4

    模擬輸出

    4(0-10V)

    通訊協議

    Modbus

    通訊接口

    RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可選(訂購時注明)

    用戶界面

    7寸TFT顯示及觸摸控制

    電源

    100-240VAC,50/60Hz,max 200W

    尺寸

    212.6*128.4*260.3 mm

    重量

    3.8Kg

    *允許顯示無源儀表的離子電流,而不是真空測量。電流用[nA]表示,相關的所有設定值和模擬輸出也用[nA]表示。

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