ETI Gauge
ETI Gauge
ETI公司生產的Bayard Alpert離子計(也稱為真空規、真空傳感器或熱陰極離子計),具有耐燒損的銥燈絲或鎢絲用于真空測量,具有從10-11到10-3 Torr極寬的測量范圍。并有雙燈絲的設計,在第一個燈絲燒壞或嚴重污染,使用第二燈絲,可以延長真空計的使用壽命和清洗熱陰極污染。
ETI 4336系列是標準的玻璃Bayard Alpert離子計,測量范圍從10-10到10-3 Torr,有雙鎢絲和單銥絲版本。
ETI 8142離子計的內部涂有鉑,保護真空規部件免受在各種熱陰極工作條件下可能發生的靜電和靜電荷影響。
ETI 8140和8130是裸離子計,8130的測量范圍從10-11到10-3 Torr,可用于UHV超高真空測量。
特點
低成本真空規
雙燈絲設計延長真空規的使用壽命
可靠穩定的熱陰極技術
耐污染真空規,耐氣體進入
應用
一般真空測量
高真空排氣臺
技術規格
型號 | 8130 | 8140 | 4336/8142 |
測量范圍 | 2*10-11Torr至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr |
精度-N2(典型值) | ±20% | ±20% | ±20% |
X射線極限 | 2*10-11Torr | 4*10-10Torr | 4*10-10Torr |
靈敏度-N2 | 25/Torr | 10/Torr | 10/Torr |
電子轟擊除氣EB | 高可達40W | 高可達100W,通常70W | 高可達100W |
焦耳除氣I2R | 不適用 | 10A時,6.5至7.3Vac | 10A時,6.5至7.3Vac |
陰極-加熱電流 | 2.5-3.5A | 4-6A | 4-6A |
陰極-加熱電壓 | 3-5V | 3-5V | 3-5V |
陰極-電壓 | +30Vdc | +30Vdc | +30Vdc |
收集極電壓 | 0V | 0V | 0V |
柵極電壓 | +180Vdc | +180Vdc | +180Vdc |
烘烤 | 450℃ | 450℃ | 450℃ |
收集極 | 0.005英寸直徑,鎢絲 | 0.01英寸直徑,鎢絲 | 0.01英寸直徑,鎢絲 |
陰極 | 雙鎢絲或雙銥絲,可更換 | 銥絲,可更換 | 雙鎢絲或單根銥絲 |
柵極 | 難熔金屬 | 難熔金屬 | 難熔金屬 |
全長 | 76mm | 76mm | 152mm |
插入長度 | 76mm | 76mm | 無 |
外殼 | 裸規,CF35法蘭 | 裸規,CF35法蘭 | Nonex 7220玻璃 |
安裝方向 | 任意 | 任意 | 任意,垂直優先 |