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    AIGX離子真空計

    Edwards  AIGX緊湊型離子真空計配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲,測量范圍極廣,從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計具備行業標準的有源壓力測量概念的所有優勢,同時集成了電子器件和可更換的管件。

    AIGX離子真空計擁有脫氣裝置,而且具備保護和延長燈絲使用壽命的功能。得益于極低的帶電微粒輻射,AIGX 成為不能有背景噪聲的制程明智的選擇。

    特點

    寬范圍測量功能,可達 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

    有兩種款型可用,每一種又有三種真空聯軸器變型:

    “D”型具有 9 針“D”接頭盒標準接口;

    “S”型具有增強的功能,與 Edwards 的各種控制器兼容。

    與主要競爭對手相比,帶電粒子制程污染減少了 30%。

    自動防止在大氣條件下啟動燈絲以及在高壓下運行或脫氣。

    在整個測量范圍內真空計靈敏度始終保持穩定,從而可以在更高壓力下保持輸出精度。

    在脫氣過程中可以連續進行壓力測量輸出。

    創新性設計消除了 X 射線限制的影響。

    雙色 LED 提供真空計狀態的本地指示。

    輸入電壓范圍寬。

    電子器件極易拆卸以進行高達 200 °C 的加熱。

    “S”型提供有無縫的自動發射電流切換,延長了燈絲壽命。

    “S”型提供有診斷輸出,指示“發射關閉”、“燈絲燒壞”和“過壓跳閘”,以幫助進行故障排除。

    “S”型提供有一個可以用按鈕調整的設定點。

    應用

    對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

    Edwards  AIGX緊湊型離子真空計配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲,測量范圍極廣,從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計具備行業標準的有源壓力測量概念的所有優勢,同時集成了電子器件和可更換的管件。該真空計擁有脫氣裝置,而且具備保護和延長燈絲使用壽命的功能。得益于非常低的帶電微粒輻射,AIGX 成為不能有背景噪聲的制程優秀的選擇。

    技術規格

    壓力范圍

    6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar


    (5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr)

    電源供給

    +14.5 至 +30.0 V 直流

    功耗

    正常工作:7W,


    脫氣:14W

    輸出信號

    線性,1 V / decade

    響應時間

    1.33 x 10-8 mbar


    (>10-8 Torr) ? 100 ms


    1.33 x 10-8 mbar


    (<10-8 Torr) ? 1-2 s

    最大電壓

    30 V(直流)

    最大電流

    100 mA

    工作環境

    干燥的非導電性大氣

    溫度范圍


    工作溫度

    0 至 +40 °C

    存儲溫度

    -30 至 +70 °C

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